| 摘要 |
작업성의 향상을 도모할 수 있는 인출 장치 및 보관 장치를 제공한다. 인출 장치(1)는, 선반(134)에 FOUP(120)이 수용되어 있는 상태에서 FOUP(120)의 하방의 간극에 삽입되고, 선반(134)에 고정되는 지지부(2a, 2b)와, 간극에 삽입 가능한 제 1 높이 위치와, 제 1 높이 위치보다 높고 또한 FOUP(120)을 들어올리는 것이 가능한 제 2 높이 위치로 전환되도록 지지부(2a, 2b)에 설치되고, 제 2 높이 위치에서 FOUP(120)을 선반(134)의 전방으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있는 들어올림부(4a, 4b)를 구비하고 있다. |
