发明名称 一种裸眼3D功能面板的制造方法
摘要 本发明实施例提供一种裸眼3D功能面板的制造方法,能够减少构图工艺的次数,提升量产产品的产能,降低成本,所述裸眼3D功能面板的制造方法包括:通过一次构图工艺,在形成有信号线金属层的基板上形成第一信号线和第二信号线;通过一次构图工艺,在形成有第一信号线和第二信号线的基板上形成钝化层,第一钝化层过孔和与第二钝化层过孔;在形成有钝化层的基板上形成第一透明电极和第二透明电极,第一透明电极与第二透明电极间隔设置,第一透明电极通过第一钝化层过孔与第一信号线连接,第二透明电极通过第二钝化层过孔与第二信号线连接。本发明实施例提供一种裸眼3D功能面板的制造方法,用于裸眼3D功能面板的制造。
申请公布号 CN103943565B 申请公布日期 2016.06.29
申请号 CN201410126416.8 申请日期 2014.03.31
申请人 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 发明人 郭会斌;王守坤;刘晓伟;冯玉春;郭总杰
分类号 H01L21/77(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种裸眼3D功能面板的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:通过一次构图工艺,在形成有信号线金属层的基板上形成第一信号线和第二信号线;通过一次构图工艺,在形成有所述第一信号线和所述第二信号线的基板上形成钝化层,与所述第一信号线对应的第一钝化层过孔和与所述第二信号线对应的第二钝化层过孔;在形成有所述钝化层的基板上形成第一透明电极和第二透明电极,所述第一透明电极与所述第二透明电极间隔设置,所述第一透明电极通过所述第一钝化层过孔与所述第一信号线连接,所述第二透明电极通过所述第二钝化层过孔与所述第二信号线连接;所述通过一次构图工艺,在形成有所述第一信号线和所述第二信号线的基板上形成钝化层,与所述第一信号线对应的第一钝化层过孔和与所述第二信号线对应的第二钝化层过孔包括:在形成有所述第一信号线和所述第二信号线的基板上沉积所述钝化层;在所述钝化层上沉积光刻胶;通过第二掩膜板对所述光刻胶进行曝光、显影之后,形成光刻胶半保留部分、光刻胶完全保留部分和光刻胶完全去除部分,所述光刻胶完全去除部分与所述第一钝化层过孔和所述第二钝化层过孔对应,所述光刻胶半保留部分覆盖需要形成所述第一透明电极和所述第二透明电极的位置,光刻胶完全保留部分覆盖除去光刻胶完全去除部分与光刻胶半保留部分之外的其他区域,所述光刻胶半保留部分的厚度小于所述光刻胶完全保留部分的厚度;刻蚀所述光刻胶完全去除部分对应的钝化层,形成所述第一钝化层过孔和第二钝化层过孔。
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