发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
一种半导体器件,包括一个或多个FinFET反相器,每个FinFET反相器包括至少一个PFinFET和至少一个NFinFET,PFinFET和NFinFET每一个均包括:多个鳍片结构,在衬底之上沿第一方向延伸;栅极,沿第二方向延伸而跨越多个鳍片结构;源区和漏区,分布在多个鳍片结构中并且在栅极的两侧;其中,PFinFET和NFinFET的栅极连接至输入节点,PFinFET和NFinFET的漏区连接至输出节点,PFinFET的源区连接至电源电压,NFinFET的源区接地;其中,PFinFET和NFinFET的衬底通过接触孔电连接至输入节点。依照本发明的半导体器件,将PFinFET和NFinFET的衬底短接至输入节点,通过同时偏压衬底而开启电路,可以有效增大器件的栅驱动能力。 |
申请公布号 |
CN105720057A |
申请公布日期 |
2016.06.29 |
申请号 |
CN201410724754.1 |
申请日期 |
2014.12.02 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
赵劼;钟汇才 |
分类号 |
H01L27/092(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/092(2006.01)I |
代理机构 |
北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 |
代理人 |
陈红 |
主权项 |
一种半导体器件,包括一个或多个FinFET反相器,每个FinFET反相器包括至少一个PFinFET和至少一个NFinFET,PFinFET和NFinFET每一个均包括:多个鳍片结构,在衬底之上沿第一方向延伸;栅极,沿第二方向延伸而跨越多个鳍片结构;源区和漏区,分布在多个鳍片结构中并且在栅极的两侧;其中,PFinFET和NFinFET的栅极连接至输入节点,PFinFET和NFinFET的漏区连接至输出节点,PFinFET的源区连接至电源电压,NFinFET的源区接地;其中,PFinFET和NFinFET的衬底通过接触孔电连接至输入节点。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3# |