发明名称 半导体器件
摘要 一种半导体器件,包括一个或多个FinFET反相器,每个FinFET反相器包括至少一个PFinFET和至少一个NFinFET,PFinFET和NFinFET每一个均包括:多个鳍片结构,在衬底之上沿第一方向延伸;栅极,沿第二方向延伸而跨越多个鳍片结构;源区和漏区,分布在多个鳍片结构中并且在栅极的两侧;其中,PFinFET和NFinFET的栅极连接至输入节点,PFinFET和NFinFET的漏区连接至输出节点,PFinFET的源区连接至电源电压,NFinFET的源区接地;其中,PFinFET和NFinFET的衬底通过接触孔电连接至输入节点。依照本发明的半导体器件,将PFinFET和NFinFET的衬底短接至输入节点,通过同时偏压衬底而开启电路,可以有效增大器件的栅驱动能力。
申请公布号 CN105720057A 申请公布日期 2016.06.29
申请号 CN201410724754.1 申请日期 2014.12.02
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 赵劼;钟汇才
分类号 H01L27/092(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I 主分类号 H01L27/092(2006.01)I
代理机构 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 代理人 陈红
主权项 一种半导体器件,包括一个或多个FinFET反相器,每个FinFET反相器包括至少一个PFinFET和至少一个NFinFET,PFinFET和NFinFET每一个均包括:多个鳍片结构,在衬底之上沿第一方向延伸;栅极,沿第二方向延伸而跨越多个鳍片结构;源区和漏区,分布在多个鳍片结构中并且在栅极的两侧;其中,PFinFET和NFinFET的栅极连接至输入节点,PFinFET和NFinFET的漏区连接至输出节点,PFinFET的源区连接至电源电压,NFinFET的源区接地;其中,PFinFET和NFinFET的衬底通过接触孔电连接至输入节点。
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