一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统

摘要

本发明公开了一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统，解决了人工装卸片劳动强度大、生产效率低、硅片破损率高、生产成本高的问题。所述舟自动装卸片系统包括与PECVD设备进舟侧相连的主机架、装在主机架上的硅片输入机构、硅片输出机构、硅片抓取机构及石墨舟输送机构。主机架无石墨舟的一端对称布置硅片输入机构和硅片输出机构；主机架有石墨舟的一端即靠近PECVD设备的一端正面安装石墨舟输送机构，背面大底板上固定硅片抓取机构。本发明大幅提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率，降低了硅片破损率和生产成本。

主权项

一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统，包括用于与PECVD设备进舟侧相连的主机架（1），其特征是，所述主机架（1）上装有硅片输入机构（2）、硅片输出机构（3）、硅片抓取机构（5）及石墨舟输送机构（6）；所述硅片输入机构（2）和硅片输出机构（3）对称布置在所述主机架（1）的右端，所述石墨舟输送机构（6）安装在所述主机架（1）左端的正面，所述硅片抓取机构（5）固定在所述主机架（1）左端的背面大底板（51）上；所述硅片抓取机构（5）包括六轴机械人（49）和硅片拾取器（50）；该六轴机械人（49）固定于所述背面大底板（51）上，所述硅片拾取器（50）通过手腕连接法兰（61）与所述六轴机械人（49）的末端旋转轴相连。