研磨装置

摘要

本发明涉及一种研磨装置，将研磨部件支撑为能够相对于被加工部件的加工面摇摆，在将上述研磨部件推压到上述被加工部件的状态下，使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相对运动，研磨上述被加工部件的加工面，该研磨装置具有：旋转传递部件，将来自旋转驱动源的转矩传递到上述研磨部件；以及旋转传递机构，具有层积橡胶部件，该层积橡胶部件以施加压力的方式夹在设置于上述旋转传递部件的第一安装部件与设置于上述研磨部件的第二安装部件之间，传递上述旋转传递部件的转矩，并且追随上述研磨部件的摇摆运动而变形。

主权项

一种研磨装置，将研磨部件支撑为能够相对于被加工部件的加工面摇摆，在将上述研磨部件推压到上述被加工部件的状态下，使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相对运动，研磨上述被加工部件的加工面，该研磨装置具有：旋转传递部件，将来自旋转驱动源的转矩传递到上述研磨部件；以及旋转传递机构，具有层积橡胶部件，该层积橡胶部件以施加压力的方式夹在设置于上述旋转传递部件的第一安装部件与设置于上述研磨部件的第二安装部件之间，传递上述旋转传递部件的转矩，并且追随上述研磨部件的摇摆运动而变形，在所述研磨装置中，在上述旋转传递机构的上述层积橡胶部件和上述第一安装部件之间及上述层积橡胶部件和上述第二安装部件之间的至少任意一方中，设有防止上述层积橡胶部件绕其中心轴旋转的旋转防止单元，上述旋转传递机构的上述层积橡胶部件的安装到上述第一安装部件与第二安装部件之间前的自然长度大于上述第一安装部件与第二安装部件之间的长度。