一种机械手晶圆定心装置及方法

摘要

本发明提供一种机械手晶圆定心装置及方法，该装置包括：高速IO采集电路，用于采集AWC传感器信号，生成高速IO信号；FPGA模块，用于将高速IO信号线与成串行中断信号，输出给嵌入式CPU模块；该FPGA模块还用于将嵌入式CPU模块的地址数据转换成对驱动器的控制信号输出，以纠正机械手的位置；嵌入式CPU模块，用于接收高速IO信号并锁存伺服轴位置值，并根据伺服轴位置值计算出机械手传输晶圆过程中实际中心与示教中心的偏位，通过地址数据输出控制指令。本发明提供的机械手晶圆定心装置及方法集成多组高速IO信号采集电路，结构紧凑、故障点少、采集电路可灵活配置。

主权项

一种机械手晶圆定心装置，其特征在于，包括：高速IO采集电路，用于通过高速隔离型光电耦合器采集AWC传感器信号，生成高速IO信号；现场可编程门阵列FPGA模块，用于将所述高速IO采集电路所采集的高速IO信号与成串行中断信号，输出给嵌入式CPU模块，使所述嵌入式CPU模块响应中断后锁存当前伺服轴位置值；该FPGA模块还用于将所述嵌入式CPU模块的地址数据转换成对驱动器的控制信号输出，以纠正机械手的位置；嵌入式CPU模块，用于接收所述FPGA模块输出的高速IO信号并锁存伺服轴位置值，并根据伺服轴位置值计算出机械手传输晶圆过程中实际中心与示教中心的偏位情况后，通过地址数据输出控制指令。