| 摘要 |
본 발명은 기판에 대전된 전하가 방전하는 것에 의한 정전 파괴의 발생을 방지하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에서는, 기판(2)에 액처리를 실시하기 위한 기판 액처리 장치(1), 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체(48)에 있어서, 기판(2)의 회로 형성면을 기판 처리 약액으로 액처리하는 액처리 공정을 행하기 전에, 기판(2)의 회로 형성면과는 반대면을 제전 처리액으로 처리하는 것에 의해 기판(2)에 대전된 전하를 방출시키는 제전 처리 공정을 행하도록 하였다. |
