薄膜サーミスタ素子およびその製造方法

摘要

Ｓｉ基板２と、Ｓｉ基板２上に形成されたサーミスタ薄膜５と、サーミスタ薄膜５の膜上、膜下又は膜中に形成された白金又はその合金等からなる電極３と、を備えた薄膜サーミスタ素子であって、電極３が、酸素及び窒素を含んで成膜された後に熱処理して結晶化されてなることを特徴とする薄膜サーミスタ素子。