Vorrichtung zum Testen von Substraten

摘要

Vorrichtung zum Testen von Substraten mit einer Testanordnung, zumindest bestehend aus einem Chuck, einem Chuckantrieb, Steuerelektronik, Sonden- oder Sondenkartenaufnahmemittel, mit einem Handlingsystem, einer Substratmagazinstation und einer Ausrichtstation, wobei mindestens zwei Testanordnungen (1; 2; 11; 12; 14; 15) vorgesehen sind, die alle gemeinsam mit dem Handlingsystem (3), der Substratmagazinstation (7) und der Ausrichtstation (10) in Wirkungsverbindung stehen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Testanordnung (1; 2; 11; 12; 14; 15) einen temperierbaren Thermochuck aufweist.