一种用于电子背散射衍射仪的样品台

摘要

本发明实施例公开了一种用于电子背散射衍射仪的样品台，涉及岩石样品分析测试领域，能够在保证实验的安全性的同时满足样品尺寸大、导电性差的样本进行有标样的测试需求。本发明包括：样品台的固定面与底座呈70°夹角，固定面上开有凹槽，凹槽用于安装并固定薄片样品，凹槽与薄片样品的尺寸吻合；凹槽的深度与薄片样品的厚度一致，当薄片样品安装在凹槽中时，薄片样品的待测表面与固定面的表面处于同一平面。固定面上开有用于安装单晶硅标样的标样凹槽，标样凹槽的深度与单晶硅标样的厚度一致，当单晶硅标样安装在标样凹槽中时，单晶硅标样的待测表面与固定面的表面处于同一平面。本发明适用于尺寸大、导电性差的样本的有标样测试。

主权项

一种用于电子背散射衍射仪的样品台，其特征在于，包括：所述样品台的固定面与底座呈70°夹角，所述固定面上开有凹槽，所述凹槽用于安装并固定薄片样品，所述凹槽与所述薄片样品的尺寸吻合；所述凹槽的深度与所述薄片样品的厚度一致，当所述薄片样品安装在所述凹槽中时，所述薄片样品的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面。