一种波面离焦校正装置

摘要

本发明提供了一种波面离焦校正装置，该方案包括有镜片、冷却腔、驱动器、水管、底座、进水口、出水口和支座；镜片粘结在冷却腔上；驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；底座固定在支座上；支座上设置有进水孔和出水孔；水管的进水口和出水口与支座上的进水孔和出水孔一一对应。该方案可以根据应用需求对驱动器加载不同载荷，镜面在驱动器的作用下上下运动，使镜面发生形变，从而矫正波面离焦，同时，该方案能够减小镜片上的热沉积引起的热畸变对面形的影响，避免引入不必要的额外像差。

主权项

一种波面离焦校正装置，其特征是：包括有镜片、冷却腔、水管、底座、进水口、出水口和支座；所述镜片粘结在冷却腔上；所述驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；所述水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；所述底座固定在支座上；所述支座上设置有进水孔和出水孔；所述水管的进水口从支座的进水孔穿出；所述水管的出水口从支座的出水孔穿出。