发明名称 | 一种扩散插片装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种扩散插片装置,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。本发明比现有技术提高了5倍的时间,大大提高了生产效率,节约了人力,节约了成本。 | ||
申请公布号 | CN105702613A | 申请公布日期 | 2016.06.22 |
申请号 | CN201511011229.6 | 申请日期 | 2015.12.30 |
申请人 | 无锡赛晶太阳能有限公司 | 发明人 | 蒋建宝;李科伟 |
分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人 | 贺翔 |
主权项 | 一种扩散插片装置,其特征在于,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。 | ||
地址 | 214251 江苏省无锡市宜兴市官林镇工业集中区C区 |