发明名称 一种扩散插片装置
摘要 本发明公开了一种扩散插片装置,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。本发明比现有技术提高了5倍的时间,大大提高了生产效率,节约了人力,节约了成本。
申请公布号 CN105702613A 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201511011229.6 申请日期 2015.12.30
申请人 无锡赛晶太阳能有限公司 发明人 蒋建宝;李科伟
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 江苏圣典律师事务所 32237 代理人 贺翔
主权项 一种扩散插片装置,其特征在于,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。
地址 214251 江苏省无锡市宜兴市官林镇工业集中区C区