发明名称 持久性特征检测
摘要 本文提出了用于对在产品制造期间导致的持久性或系统缺陷的改进检测的方法。具体地,该方法针对检测在光伏电池和模块的制造中系统性导致的缺陷。从多个所述产品获得图像,其中,每个图像属于每个所述产品上的基本相同的区域。结合所述图像以获得超级图像,由此增强系统缺陷并抑制诸如材质变化的随机特征。对所述超级图像进行处理以识别具有强信号或超过预定阈值的信号的区;且所述区被识别为表示所述产品中的系统特征。一旦识别出系统缺陷,即可采取措施来找出并纠正其原因。
申请公布号 CN103210482B 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201180039616.4 申请日期 2011.08.08
申请人 BT成像股份有限公司 发明人 伊恩·安德鲁·麦克斯威尔
分类号 H01L21/66(2006.01)I;G01N21/62(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N21/17(2006.01)I;G01N21/84(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种用于检测在工艺线上制造的产品中的系统特征的方法,所述方法包括以下步骤:(a)获取多个所述产品的图像,每个图像属于每个所述产品上的相同的区域;(b)使用结合函数结合所述图像来获得超级图像;(c)对所述超级图像进行处理以识别具有强信号的区,其中所述强信号的电平与所述超级图像的平均信号电平或期望信号电平强烈偏离;以及(d)将所述区识别为表示所述产品中的系统特征。
地址 澳大利亚新南威尔士