硅锭的提取装置及方法

摘要

本发明涉及一种硅锭的提取装置及方法。本发明的装置包括：腔室，在所述腔室中引入在冷坩埚中形成的硅融液；一次提取装置，所述一次提取装置设置成相对于所述腔室在垂直方向上可以移动，并且所述一次提取装置凝固所述硅融液且提取硅锭；移动装置，所述移动装置在水平方向上移动所述一次提取装置；以及二次提取装置，所述二次提取装置设置到在所述腔室的下方使得所述二次提取装置在垂直方向上可以移动，所述二次提取装置在所述一次提取装置横向移动的状态下提取所述硅锭。本发明具有如下效果：通过减小提取装置的高度，可以降低设备的制造成本，而且还可以减小设置提取装置的空间。

主权项

一种硅锭的提取装置，其特征在于，包括：腔室，流入到冷坩埚内的硅原料在所述腔室中被融化；一次提取装置，所述一次提取装置设置成相对于所述腔室在垂直方向上可以移动，并且所述一次提取装置凝固被融化的所述硅原料且提取硅锭；移动装置，所述移动装置在水平方向上移动所述一次提取装置；以及二次提取装置，所述二次提取装置设置在所述腔室的下方使得所述二次提取装置在垂直方向上可以移动，并在所述一次提取装置横向移开形成的空间中提取所述硅锭，其中，所述一次提取装置包括：第一轴，所述第一轴相对于所述腔室在垂直方向上可以移动；第一螺杆，所述第一螺杆连接成使所述第一轴可以移动；以及轴导件，所述轴导件用于引导所述第一轴的移动，其中，在所述第一轴的顶部可拆装地结合用于支撑所述硅锭的底部的挤压垫，其中，所述二次提取装置包括：第二轴，所述第二轴以垂直方向设置在所述腔室的下方，并且安装成位于所述第一轴的外围；支撑板，所述支撑板的升降由所述第二轴引导，并且所述支撑板用于支撑所述挤压垫；以及第二螺杆，所述第二螺杆被连接成能使所述支撑板升降，且使所述支撑板沿着所述第二轴升降。