ASSEMBLY FOR THE DETECTION OF REFLECTION ANISOTROPY

摘要

Anordnung zur Erfassung der Reflexions-Anisotropie einer Probe (30), enthaltend eine Strahlungsquelle (10) zur Beleuchtung einer Probe (30) derart, dass die von der Strahlungsquelle (30) erzeugte Strahlung im rechten Winkel auf die Probe (30) fällt; einen im Strahlengang zwischen Strahlungsquelle und Probe angeordneten Polarisationsstrahlteiler (18); Mittel zur Polarisationsmodulation (24), welche im Strahlengang zwischen Polarisationsstrahlteiler (18) und Probe (30) angeordnet sind; und (d) einen Detektor zur Erfassung der von der Probe (30) reflektierten Strahlung; ist dadurch gekennzeichnet, dass der Polarisationsstrahlteiler (18) bei Umkehrung der Durchgangsrichtung die Polarisationszustände erhält; und die Mittel zur Polarisationsmodulation einen rotierenden Polarisator (24) enthalten.