| 发明名称 | 一种(BiFeO<sub>3</sub>)m/(La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>)n多层薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种(BiFeO<sub>3</sub>)m/(La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>)n多铁材料薄膜的制备方法。本发明采用磁控溅射法，将衬底固定，抽真空，通入一定体积流量比的氩气和氧气，将气压调整到一定值，设定衬底温度，开射频源起辉，待机器各方面参数稳定一段时间，打开样片挡板开始沉积薄膜，交替沉积4个周期后，关闭射频源，停止起辉。在STO衬底上所得样品即为[(BiFeO<sub>3</sub>)<sub>20</sub>/(La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>)<sub>10</sub>]<sub>4</sub>多层薄膜。本发明的优点：工艺可控性强，易操作，成本低，制得的产物纯度高。本发明所制备的产品在信息存储、自旋电子器件、磁传感器等领域具有广泛的用途。 | ||
| 申请公布号 | CN102586747B | 申请公布日期 | 2016.06.22 |
| 申请号 | CN201210065339.0 | 申请日期 | 2012.03.13 |
| 申请人 | 浙江理工大学 | 发明人 | 王顺利;朱晖文;李培刚;唐为华 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人 | 陈小良 |
| 主权项 | 一种(BiFeO<sub>3</sub>)m/(La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>)n多层薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)将已经清洗好的SrTiO<sub>3</sub>为衬底固定在托板上，关好各气阀后抽真空，直至真空度达到1.0×10<sup>‑4</sup>Pa以上，通入氩气和氧气，调节分子泵闸板阀，将气压调整到1‑3Pa；(2)设定衬底温度为700‑750℃，开射频源起辉，溅射功率分别为100‑110W对靶材预溅射5分钟，然后升高射频功率至115‑120W进行溅射；(3)待机器各方面参数稳定后；先在SrTiO<sub>3</sub>衬底上通过溅射、沉积LSMO薄膜；然后用硅片遮住一半的LSMO薄膜区域，再用溅射、沉积BFO薄膜；按上述先沉积LSMO薄膜、再沉积BFO薄膜的交替沉积过程进行4个周期，关闭射频源，停止起辉，在SrTiO<sub>3</sub>衬底上所得样品即为[(BiFeO<sub>3</sub>)<sub>20</sub>/(La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>)<sub>10</sub>]<sub>4</sub>多层薄膜材料。 | ||
| 地址 | 310018 浙江省杭州市江干区下沙高教园区 | ||