用于装配导线键合机的换能器的装置

摘要

本发明公开了一种用于将换能器安装至导线键合机的键合头的装置，尤其是当在半导体封装件内部的不同位置之间形成电气互联时，该导线键合机的键合头被操作来机械地驱动换能器。具体地，该装置包含有：i)柔性结构，其具有用于连接至换能器的连接器，该柔性结构被配置来弯曲；以及ii) 一个或一个以上的驱动机构，其安装至柔性结构上，该一个或一个以上的驱动机构被操作来弯曲柔性机构，以藉此引起通过连接器与之连接的换能器产生位移。

主权项

一种导线键合机，其包含有：超声波换能器，其被配置用来执行导线键合；键合头；以及，安装装置，其被配置用来将该超声波换能器装配至该键合头处，该超声波换能器配置来沿一第一轴被机械地驱动，以在半导体封装件内部的各个位置之间形成电气互联，该安装装置包括：柔性结构，其被配置来弯曲，其中该超声波换能器被安装在该柔性结构上；至少一个驱动机构，其安装至柔性结构上，该至少一个驱动机构被配置并操作来弯曲柔性机构，从而引起超声波换能器至少沿一垂直于第一轴的第二轴上产生位移；以及多个连接器，其被配置来将该柔性结构连接到该超声波换能器，其中至少一个驱动机构在该柔性结构的第一端与之连接，该超声波换能器从该柔性结构的第二端延伸，该柔性结构的第二端位于该柔性结构的第一端的相对侧。