基板上的图案形成方法

摘要

一种基板上的图案形成方法，包括：将多片基板贴附于承载板上，且基板彼此分离。撷取贴附有基板的承载板的参考影像。对参考影像进行影像处理以获得基板的处理信息。使用激光记忆曝光机根据基板的处理信息对基板进行曝光步骤。

主权项

一种基板上的图案形成方法，包括：将多片基板贴附于一承载板上，且这些基板彼此分离，且这些基板彼此的相对位置不相同；撷取贴附有这些基板的该承载板的一参考影像；对该参考影像进行影像处理以获得各该基板的一处理信息，所述处理信息包括一影像信息以及一位置信息；使用一影像处理软件将该影像信息与该位置信息整合而获得一曝光影像图面；以及使用一激光记忆曝光机根据上述曝光影像图面进行一曝光步骤。