| 发明名称 | 用于静电卡盘表面的垫设计 | ||
| 摘要 | 具体实施方式涉及静电卡盘表面，所述静电卡盘表面具有最小接触面积特征。更具体地，本发明的具体实施方式提供用于提供颗粒生成减少和基板和卡紧设备的磨损减少的静电卡盘组件，所述静电卡盘组件具有凸起伸长的表面特征图案。 | ||
| 申请公布号 | CN105706351A | 申请公布日期 | 2016.06.22 |
| 申请号 | CN201480061349.4 | 申请日期 | 2014.11.21 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 戈文达·瑞泽;蔡振雄;罗伯特·T·海拉哈拉;凯瑟拉·拉马亚·纳伦德纳斯;曼朱纳塔·科普帕;罗斯·马歇尔 |
| 分类号 | H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H02N13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于对静电卡盘进行涂布的掩模，所述掩模包括：平坦构件，所述平坦构件包含选自由以下项组成的组中的材料：氮化硅、氮化铝、碳化硅和氧化锆，其中所述掩模具有位于所述掩模的中心区域的蛇形开口。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||