一种超薄高纯陶瓷片及其制备工艺

摘要

本发明涉及一种超薄高纯陶瓷片及其制备工艺，陶瓷片的陶瓷粉体为微米粉体和纳米粉体的混合体，纳米粉体占陶瓷粉体体积的10~30%；微米粉体的中位径不大于3.0µm；纳米粉体的中位径不大于0.2µm；微米粉体颗粒间相互接触，纳米粉体填充在微米粉体间的空隙。采用流延成型生带和固相烧结的制备工艺，以陶瓷粉体为浆料的固相，陶瓷粉体质量占浆料的65%以上；固相烧结的烧结温度比微米粉体的理论烧结温度低100℃以上。本发明采用微米粉体和纳米粉体的混合体作为陶瓷粉体，通过合理调控它们的体积比，在不添加助烧剂的情况下，实现降低煅烧温度；并通过提高固含量、降低烧结温度等工艺以制备表面平整的超薄陶瓷板，而且陶瓷片仍保持较好导热性能和不改变介电性能。

主权项

一种超薄高纯陶瓷片，其特征在于，陶瓷片的陶瓷粉体为微米粉体和纳米粉体的混合体，所述纳米粉体占所述陶瓷粉体体积的10~30%；所述微米粉体的中位径不大于3.0 µm；所述纳米粉体的中位径不大于0.2 µm；所述微米粉体颗粒间相互接触，所述纳米粉体填充在所述微米粉体间的空隙。