一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统

摘要

本发明公开了一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统，包括激光器，输入端通过单模光纤与激光器光输出端连接、用于将激光器输出的光分成两束完全相同的光信号的光纤分束器，输入端通过单模光纤与光纤分束器输出端连接、用于接收其中一束光信号并作为参比信号的光检测单元，以及输入端通过单模光纤与光纤分束器输出端连接、用于接收另一束光信号进行光学测量的微型集成传感器芯片；微型集成传感器芯片输出端与光检测单元输入端连接。本发明全部基于光波导传感原理进行测量，不仅抗干扰能力强、测量精度和灵敏度高、能实现远距离测量，能够测量多种气体组分浓度，而且其芯片部分尺寸微小，可用于狭小空间内的多种气体组分浓度的在线测量。

主权项

一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统，其特征在于，包括激光器（1），输入端通过单模光纤与激光器光输出端连接、用于将激光器输出的光分成两束完全相同的光信号的光纤分束器（2），输入端通过单模光纤与光纤分数器（2）输出端连接、用于接收其中一束光信号并作为参比信号的光检测单元（9），以及输入端通过单模光纤与光纤分数器（2）输出端连接、用于接收另一束光信号进行光学测量的微型集成传感器芯片（3）；所述微型集成传感器芯片（3）输出端与光检测单元（9）输入端连接。