差动型MEMS声换能器

摘要

一种差动型MEMS声换能器，其具有：检测结构，根据所检测的声信号生成电检测量；以及电子接口电路，操作性地耦合至检测结构并被配置为根据电检测量生成电输出量。检测结构具有电容类型的第一微机械结构和电容类型的第二微机械结构，每个微机械结构均包括面向刚性电极且电容性地耦合至刚性电极的隔膜，微机械结构限定相应的第一检测电容器和第二检测电容器；电子接口电路，限定偏置线和参考线之间的第一检测电容器和第二检测电容器的串联的电连接，并且进一步具有第一单输出放大器和第二单输出放大器，单输出放大器耦合至第一检测电容器和第二检测电容器中的相应一个并具有相应的第一输出端和第二输出端，电输出量存在于第一输出端和第二输出端之间。

主权项

一种MEMS声换能器，包括：检测结构，被配置为根据所检测的声信号生成电检测量，其中所述检测结构包括电容类型的第一微机械结构和电容类型的第二微机械结构，每个微机械结构均包括面向刚性电极且电容性地耦合至所述刚性电极的隔膜，所述微机械结构限定相应的第一检测电容器和第二检测电容器；以及电子接口电路，操作性地耦合至所述检测结构并且被配置为根据所述电检测量生成电输出量，其中所述电子接口电路限定偏置线和参考线之间的所述第一检测电容器和所述第二检测电容器的串联的电连接，并且进一步包括第一单输出放大器和第二单输出放大器，所述第一单输出放大器和所述第二单输出放大器耦合至所述第一检测电容器和所述第二检测电容器中的相应检测电容器并具有相应的第一输出端和第二输出端，所述电输出量存在于所述第一输出端和所述第二输出端之间。