| 摘要 |
개시된 실시예의 하나 이상의 태양들에 따라 반도체 공정 장치가 제공된다. 상기 반도체 공정 장치는, 종축 및 상기 종축의 양쪽으로 벌어진 측면들을 가지며, 내부에 밀봉된 환경을 유지하도록 구성된 밀봉가능한 챔버를 형성하는 프레임; 상기 밀봉가능한 챔버에 장착되며 신축적 캐리지를 가지는 적어도 하나의 이송 모듈로서, 상기 신축적 캐리지는 상기 이송 모듈의 다른 부분에 대하여 선형적으로 이동가능하도록 구성되며, 상기 신축적 캐리지와 나머지 부분은 상기 종축을 따른 신축적 운동을 정의하는, 상기 적어도 하나의 이송 모듈; 및 상기 캐리지에 장착된 적어도 하나의 전달 로봇으로서, 상기 적어도 하나의 전달 로봇의 각각은 위에 기판을 유지하도록 구성된 적어도 하나의 전달 아암을 갖는, 상기 적어도 하나의 전달 로봇;을 포함한다. |
