锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法

摘要

本发明公开了一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法，所述的抛光液组合物的制备方法，其步骤：a.将上述锌元素掺杂氧化硅溶胶复合颗粒溶胶体系送入350目过滤筛，过滤，除去其中的大颗粒；b．向上述过滤后的复合颗粒溶胶体系加入质量百分比为6.67%的分散剂六偏磷酸钠，搅拌均匀,即得到锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的抛光液组合物。本发明的复合磨粒的物理结构为纳米球形，该磨粒的化学组成上含有锌元素，锌元素可以提高磨粒的化学作用,化学作用可提高磨粒的抛光速率，提高材料的去除速率。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石基片进行抛光，可以有效地降低蓝宝石硅片表面的粗糙度，提高蓝宝石表面的去除速率。

主权项

一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒， 其特征在于，所述的复合磨粒组成及质量百分比含量为：锌元素化合物（氢氧化锌）0.1‑2 wt.%；氧化硅溶胶99.9‑95 wt.%。