靶材的旋转移动支撑装置

摘要

本实用新型公开了一种靶材的旋转移动支撑装置，包括导轨支架，导轨支架上滑动导向装配有工作台，工作台上螺纹传动装配有丝杠，导轨支架的一端固定有移动电机，移动电机通过减速器驱动丝杠转动，工作台上转动装配有旋转平台，旋转平台上止转装配有蜗轮，蜗轮与一蜗杆啮合传动，所述蜗杆由固定在工作台上的旋转电机驱动。本实用新型的工作台由旋转电机通过丝杠驱动沿着导轨支架移动，用来进行位置调整，而工作台上的旋转平台由转动电机通过蜗轮蜗杆机构驱动转动，用来进行角度调整，使得靶材能满足不同类型的工件进行离子束辅助沉积镀膜时对靶材的角度和距离的要求。

主权项

一种靶材的旋转移动支撑装置，其特征在于：包括导轨支架，导轨支架上滑动导向装配有工作台，工作台上螺纹传动装配有丝杠，导轨支架的一端固定有移动电机，移动电机通过减速器驱动丝杠转动，工作台上转动装配有旋转平台，旋转平台上止转装配有蜗轮，蜗轮与一蜗杆啮合传动，所述蜗杆由固定在工作台上的旋转电机驱动。