| 摘要 |
【課題】優れた耐久性を有する基材組立体を効率よく製造することができる基材組立体の製造装置を提供すること。【解決手段】第１基材１０と第２基材２０とを、第１基材１０及び第２基材２０の少なくとも一方に環状の封止部１２，２２を配置し、第１基材１０と第２基材２０との間に封止部１２、２２を挟み込み且つ第１基材１０と第２基材２０と封止部１２，２２との間に被封止物１３を配置した状態で重ね合せた後、少なくとも第１基材１０を支持する第１基材支持部１１と、封止部１２，２２に対応する環状パターンを有する加圧面３ａにおいて封止部１２，２２を第２基材２０側から加熱する熱プレス部３とによって封止部１２，２２を加熱及び加圧して封止部１２，２２を介して第１基材１０と第２基材２０とを貼り合せて基材組立体を製造する基材組立体の製造装置１００であって、第１基材支持部１１の熱伝導率が、熱プレス部３の熱伝導率よりも小さいことを特徴とする基材組立体の製造装置１００。【選択図】図１ |
