一种负载传输装置与方法

摘要

本发明提供了一种负载传输装置，包括反应腔、传输腔、基板和机械手。上述反应腔内设置有基座；机械手位于传输腔中，机械手设置有支撑部，用于将所述基板在所述传输腔与所述反应腔之间传输。上述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一承载区、第二承载区之间的中间层区，上述的至少一个反应腔通过一传输门与传输腔连通或分隔。上述第一承载区设置有第一支架，第一承载区还包括第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴。上述第二承载区设置有第二支架，第二承载区还包括第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴。本发明的负载传输装置工作尺寸较小，结构紧凑，有效解决现有技术中存在的占地面积大，维护时间长，生产效率低的问题。

主权项

一种负载传输装置，其特征在于，包括：反应腔，其中设置有基座；基板，用以置于所述反应腔中的所述基座上，以进行处理；机械手，位于传输腔中，所述机械手设置有支撑部，用于将所述基板在所述传输腔与所述反应腔之间传输；传输腔，所述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一承载区、第二承载区之间的中间层区，所述的至少一个反应腔通过一传输门与所述传输腔连通或分隔；所述第一承载区设置有第一支架，用以承载所述待处理或者处理后的基板；所述第一承载区包括第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴，所述第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴三者互相平行，所述第一传输轴轴或第一抓取轴与第一放置轴间垂直距离大于等于所述机械手负载基板在第一承载区伸展或收缩的最小距离，小于等于所述机械手负载基板在第一承载区伸展或收缩的最大距离；所述第二承载区设置有第二支架，用以承载所述用以承载待处理或者处理后的基板；所述第二承载区包括第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴，所述第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴三者互相平行，所述第二传输轴或第二抓取轴与第二放置轴间垂直距离大于等于所述机械手负载基板在第二承载区伸展或收缩的最小距离，小于等于所述机械手负载基板在第二承载区伸展或收缩的最大距离。