光扫描装置及光扫描控制装置

摘要

本发明提供能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有：以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁；以及第一压电传感器，其形成在连结梁上，当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移，第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。

主权项

一种光扫描装置，其利用扭转梁从轴向两侧支撑对反射镜进行支撑的反射镜支撑部，通过上述扭转梁的扭转，使上述反射镜支撑部在绕轴方向上摆动，该光扫描装置的特征在于，具有：使上述反射镜及上述反射镜支撑部在相对于上述绕轴方向垂直的绕轴方向上摆动的垂直驱动源；检测上述反射镜在上述垂直的绕轴方向上摆动时的位移的压电传感器；连接于上述压电传感器的传感器配线；以及连接于地线端子，且设在上述垂直驱动源与上述传感器配线之间的保护图案。