一种基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯无源热电偶的微纳尺度温度探测方法，该测试方法基于石墨烯的赛贝克系数可以调节，用石墨烯一种材料，制备传统上需要两种材料才可以制备的热电偶器件，实现温度探测。本发明同时避免传统的利用外加电压调制石墨烯赛贝克系数的方式，直接通过不同功函数的金属接触，使得不同区域的石墨烯赛贝克系数不同。本发明既可以直接集成在芯片上原位测量，也可以集成在探针头上，用于扫描不同样品的温度梯度。

主权项

一种基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法，其步骤包括：1)合成单层石墨烯薄膜，并将石墨烯转移至衬底上；2)采用电子束曝光、显影、刻蚀石墨烯，形成U形的石墨烯无源热电偶，以及多个U形石墨烯无源热电偶构成阵列；3)在石墨烯无源热电偶上溅射两种不同金属材料制备的电极，获取上述石墨烯无源热电偶的电压ΔU；4)根据公式ΔT＝(S₁‑S₂)×ΔU，得到石墨烯无源热电偶测试的温度，其中S₁、S₂为石墨烯接触金属后的赛贝克系数。