发明名称 一种组合式磁约束线形空心阴极放电装置
摘要 本发明提供了一种组合式磁约束线形空心阴极放电装置,包括:阳极板(2)、真空放电腔体(9)、套设于该真空放电腔体(9)外的亥姆霍兹线圈(10)和组合式空心阴极(8),所述的组合式空心阴极(8)包括:若干T形阴极底板(4)和两个阴极侧板(5);所述的T形阴极底板(4)平行排列于同一平面上,相邻的两个T形阴极底板(4)之间均形成一凹槽形阴极(7),所述的两个阴极侧板(5)分别设置于组合式T形空心阴极底板的两侧端,并可沿与其相邻的T形阴极底板之间(4)平行滑动,用于调节组合式空心阴极(8)的开口宽度。利用上述放电装置能够产生任意厚度的大面积、高密度、且具有较好均匀性的等离子体片。
申请公布号 CN105704902A 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201410710654.3 申请日期 2014.11.27
申请人 中国科学院空间科学与应用研究中心 发明人 夏俊明;霍文青;徐跃民;孙海龙;孙简
分类号 H05H1/34(2006.01)I 主分类号 H05H1/34(2006.01)I
代理机构 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 代理人 王宇杨;杨青
主权项 一种组合式磁约束线形空心阴极放电装置,包括:阳极板(2)、真空放电腔体(9)和套设于该真空放电腔体(9)外的亥姆霍兹线圈(10),所述的真空放电腔体(9)与亥姆霍兹线圈(10)同轴设置;其特征在于,还包括组合式空心阴极(8),所述的组合式空心阴极(8)与阳极板(2)相对、平行的设置于真空放电腔体(9)内;该组合式空心阴极(8)包括:若干T形阴极底板(4)和两个阴极侧板(5);所述的T形阴极底板(4)平行排列于同一平面上,相邻的两个T形阴极底板(4)之间均形成一凹槽形阴极(7);所述的两个阴极侧板(5)分别设置于组合式空心阴极的两端,并与其相邻的T形阴极底板(4)之间平行滑动,用于调节组合式空心阴极(8)的开口宽度。
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