薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管阵列面板以及一种防止在信号线上形成杂质粒子的薄膜晶体管的制造方法，该薄膜晶体管阵列面板包括：基板；信号线，设置在基板上并包括铜(Cu)；钝化层，设置在信号线上并具有暴露信号线的一部分的接触孔；以及导电层，设置在钝化层上，并通过接触孔连接至信号线的该部分，其中，钝化层包括有机钝化层，有机钝化层包括不包含硫的有机绝缘体。

主权项

一种薄膜晶体管阵列面板的制造方法，包括：在基板上形成包括铜的信号线；在所述信号线上沉积第一钝化层；在所述第一钝化层上涂覆包括具有光敏性的有机材料的有机材料层；通过掩模向所述有机材料层照射光，以将所述有机材料层图案化；通过使用所述图案化的有机材料层作为蚀刻掩模，在所述第一钝化层中形成暴露所述信号线的一部分的接触孔；以及形成通过所述接触孔连接至所述信号线的导电层，其中，形成所述接触孔包括使用包括氟基气体的第一蚀刻气体和包括氧气的第二蚀刻气体，以及所述第一蚀刻气体与所述第二蚀刻气体的流量比(sccm)大于1/7，以及所述有机材料层包含硫。