| 发明名称 | 倾斜检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及倾斜检测装置。具备：光源，用于投影图案；液体构件，具有自由液面并且使所述图案在所述自由液面背面反射；光接收元件，对背面反射后的所述图案的反射像进行光接收；以及运算处理部，该运算处理部对所述光接收元件的光接收面的规定范围扫描需要次数，对所检测的光接收信号进行平均化处理，基于平均化处理后的信号来运算所述图案的重心位置。 | ||
| 申请公布号 | CN105698759A | 申请公布日期 | 2016.06.22 |
| 申请号 | CN201510901116.7 | 申请日期 | 2015.12.09 |
| 申请人 | 株式会社拓普康 | 发明人 | 古平纯一 |
| 分类号 | G01C9/20(2006.01)I | 主分类号 | G01C9/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 秦琳;陈岚 |
| 主权项 | 一种倾斜检测装置，其中，具备：光源，用于投影图案；液体构件，具有自由液面并且使所述图案在所述自由液面背面反射；光接收元件，对背面反射后的所述图案的反射像进行光接收；以及运算处理部，该运算处理部对所述光接收元件的光接收面的规定范围扫描需要次数，对所检测的光接收信号进行平均化处理，基于平均化处理后的信号来运算所述图案的重心位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||