发明名称 用于电器件中的载流结构的金属化部及其制造方法
摘要 本发明涉及用于电器件中的载流结构的金属化部及其制造方法,该金属化部布置在衬底(S)上,且具有基座、布置在该基座上的上覆层(TL)以及该基座中的布置在下层(BL)与上层(UL)之间的中间层(ML),其中基座包括下层(BL),该下层布置在衬底表面上方或者布置在衬底表面上并且包括Ti或者钛化合物作为主要成分,基座包括上层(UL),该上层布置在下层(BL)上方或者直接布置在下层(BL)上并且包括Cu作为主要成分,上覆层(TL)直接布置在上层上并且包括Al作为主要成分,以及中间层(ML)包括Ag。
申请公布号 CN105702660A 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201610154919.5 申请日期 2010.12.01
申请人 埃普科斯股份有限公司 发明人 C.比宁格;U.克瑙尔;H.措特尔;W.吕勒;T.耶武拉;R.尼斯尔
分类号 H01L23/498(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H03H9/145(2006.01)I;H05K1/09(2006.01)I;H05K3/38(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I;H05K1/03(2006.01)I;H05K3/04(2006.01)I 主分类号 H01L23/498(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 刘春元
主权项 用于电器件中的载流结构的金属化部(M),‑ 布置在衬底(S)上,‑ 具有基座、布置在该基座上的上覆层(TL)以及该基座中的布置在下层(BL)与上层(UL)之间的中间层(ML),其中‑ 基座包括下层(BL),该下层布置在衬底表面上方或者布置在衬底表面上并且包括Ti或者钛化合物作为主要成分,‑ 基座包括上层(UL),该上层布置在下层(BL)上方或者直接布置在下层(BL)上并且包括Cu作为主要成分,‑ 上覆层(TL)直接布置在上层上并且包括Al作为主要成分,以及‑ 中间层(ML)包括Ag。
地址 德国慕尼黑