发明名称 |
用于电器件中的载流结构的金属化部及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及用于电器件中的载流结构的金属化部及其制造方法,该金属化部布置在衬底(S)上,且具有基座、布置在该基座上的上覆层(TL)以及该基座中的布置在下层(BL)与上层(UL)之间的中间层(ML),其中基座包括下层(BL),该下层布置在衬底表面上方或者布置在衬底表面上并且包括Ti或者钛化合物作为主要成分,基座包括上层(UL),该上层布置在下层(BL)上方或者直接布置在下层(BL)上并且包括Cu作为主要成分,上覆层(TL)直接布置在上层上并且包括Al作为主要成分,以及中间层(ML)包括Ag。 |
申请公布号 |
CN105702660A |
申请公布日期 |
2016.06.22 |
申请号 |
CN201610154919.5 |
申请日期 |
2010.12.01 |
申请人 |
埃普科斯股份有限公司 |
发明人 |
C.比宁格;U.克瑙尔;H.措特尔;W.吕勒;T.耶武拉;R.尼斯尔 |
分类号 |
H01L23/498(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H03H9/145(2006.01)I;H05K1/09(2006.01)I;H05K3/38(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I;H05K1/03(2006.01)I;H05K3/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/498(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
刘春元 |
主权项 |
用于电器件中的载流结构的金属化部(M),‑ 布置在衬底(S)上,‑ 具有基座、布置在该基座上的上覆层(TL)以及该基座中的布置在下层(BL)与上层(UL)之间的中间层(ML),其中‑ 基座包括下层(BL),该下层布置在衬底表面上方或者布置在衬底表面上并且包括Ti或者钛化合物作为主要成分,‑ 基座包括上层(UL),该上层布置在下层(BL)上方或者直接布置在下层(BL)上并且包括Cu作为主要成分,‑ 上覆层(TL)直接布置在上层上并且包括Al作为主要成分,以及‑ 中间层(ML)包括Ag。 |
地址 |
德国慕尼黑 |