一种用于电子工业的超纯水处理系统

摘要

本实用新型属水处理技术领域，涉及一种超纯水处理系统，具体涉及一种用于电子工业的超纯水处理系统。本实用新型一种用于电子工业的超纯水处理系统，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统。本实用新型通过设置预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统，可实现出水水质稳定，自动化程度高，连续运行，操作简单，终端产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，可避免二次污染。

主权项

一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统；所述预处理系统由通过管路依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化水过滤器以及保安过滤器构成；所述RO系统，安装于保安过滤器后，由通过管路依次连接的一级高压泵、一级RO反渗透装置、一级纯水箱、二级高压泵、二级RO反渗透装置、二级纯水箱构成；所述EDI系统，安装于二级纯水箱后，由通过管路依次连接的EDI增压泵、EDI装置、EDI超纯水箱、超纯水供水泵构成；所述供水系统，安装在超纯水供水泵后，由通过管路依次连接的杀菌装置、抛光混床、精密过滤器构成，精密过滤器通过管路连接至用水点；所述自动控制系统设有控制柜和PLC自动控制器，连接自动控制预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统。