| 摘要 |
Eine Ionenquelle ist konfiguriert für weiche Elektronenionisierung und erzeugt einen Niedrigelektronenenergie-Elektronenstrahl, der dennoch hochintensiv ist. Die Ionenquelle umfasst eine Elektronenquelle, die den Elektronenstrahl erzeugt und denselben in eine Ionisierungskammer überträgt. Der Elektronenstrahl interagiert mit Probenmaterial in der Ionisierungskammer, um einen Ionenstrahl zu erzeugen, der zu einer nachgeschalteten Vorrichtung übertragen werden kann. Die Elektronenquelle ist konfiguriert zum Erzeugen einer virtuellen Kathode, vorgeschaltet zu der Ionisierungskammer, die die Intensität des Elektronenstrahls verbessert. |
