热处理装置

摘要

所熟知的热处理装置包括被由石英玻璃构成的炉衬所包围的过程室、加热机构和反射器。为了以此为出发点提供一种具有炉衬的热处理装置，该热处理装置可以容易地并且以可变的形状来制造、能够实现对于加热物料的快速的加热和冷却以及较短的过程时间，并且突出之在于较长的使用寿命。在此建议，所述炉衬包括多个壁体元件，所述壁体元件具有朝向所述过程室的和背向所述过程室的侧面，并且所述壁体元件中的至少一个壁体元件具有多根石英玻璃管，所述石英玻璃管通过含SiO₂的连接材料彼此相连接。

主权项

热处理装置，包括被由石英玻璃构成的炉衬所包围的过程室、加热机构和反射器，其特征在于，所述炉衬包括多个壁体元件，所述壁体元件具有朝向所述过程室的和背向所述过程室的侧面，并且所述壁体元件中的至少一个壁体元件具有多根石英玻璃管，所述石英玻璃管通过含SiO₂的连接材料彼此相连接。