发明名称 |
用于制备纹理化膜的系统和方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于制备具有复杂形貌的幅材的系统和方法。使具有可涂覆型材料的基底与具有设置到其主表面中的凹槽的正面辊接触,然后分离正面辊和基底之间的可涂覆型材料,从而产生纹理化表面,该纹理化表面具有与从主表面的分离相关联的第一区域,以及从与正面辊的具有凹槽的区域相关联的分离产生的第二区域。由分离步骤制备的凸脊特征结构互连第一区域内的部分以及第二区域内的部分,并且在第一区域和第二区域之间互连。 |
申请公布号 |
CN105684129A |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201480057259.8 |
申请日期 |
2014.10.09 |
申请人 |
3M创新有限公司 |
发明人 |
约翰·P·贝茨尔德;米切尔·A·F·约翰逊;史蒂文·J·麦克曼;弗兰克·T·谢尔;罗伯特·A·亚佩尔;帕特里克·J·叶舍 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
顾红霞;彭会 |
主权项 |
一种制备具有复杂形貌的幅材的方法,所述方法包括:向基底的第一主表面施加第一可涂覆型材料;将所述第一可涂覆型材料的粘度从第一粘度改变为第二粘度以形成第二可涂覆型材料;使所述基底上的所述第二可涂覆型材料与正面辊接触,所述正面辊具有第一主表面和设置到所述正面辊的所述第一主表面中的多个辊特征结构;分离所述基底和所述正面辊之间的所述第二可涂覆型材料,以在所述基底上的所述第二可涂覆型材料中形成所得纹理,其中所述所得纹理包括第一区域和第二区域,所述第一区域与所述正面辊的所述第一主表面和所述基底之间的分离相关联,所述第二区域从所述正面辊上的与所述辊特征结构中的至少一个辊特征结构相关联的区域和所述基底之间的分离得到,并且其中所述所得纹理在至少所述第二区域内包括凸脊特征结构的互连网络;以及硬化所述形成所得纹理的第二可涂覆型材料以制备具有随后的纹理化表面的所述幅材。 |
地址 |
美国明尼苏达州 |