一种真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具；所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部；该真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上。通过在抽真空装置的真空管道上设置一个电磁加热机构，使抽真空装置的进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提高了抽真空效率。

主权项

一种真空镀膜机，其特征在于，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具；所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部；所述真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上,该电磁加热机构包括管体、空气循环装置以及至少一个电磁线圈；所述管体的管径大于所述真空管道的管径，管体套设在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上，管体内壁与真空管道外壁之间形成空腔；所述空气循环装置设置在空腔的一端；所述电磁线圈包覆在管体的外侧壁上，并与电源气路电气连。