用于引导激光束的设备和方法

摘要

本发明涉及用于引导激光束用来加工工件的设备，所述设备包括具有可移动的镜的镜装置，用于产生激光束到聚焦光学系统上的定位角用来调整激光束在工件上的横向偏移以及用于产生激光束在聚焦光学系统上的横向偏移用来调整激光束在工件上的入射角。在此规定，在镜装置和聚焦光学系统之间布置用于扩张射束和用于可变地调整激光束的焦距的光学装置。本发明此外涉及用于引导激光束的相应的方法。所述设备和所述方法能够实现用于加工工件的激光束的快速的和动态的运动。

主权项

用于引导激光束（50）用来加工工件（36）的设备，包括具有可移动的镜（21、22）的镜装置（20），所述镜装置（20）用于产生激光束（50）到聚焦光学系统（34）上的定位角（49）来调整激光束（50）在工件（36）上的横向偏移，并且用于产生激光束（50）在聚焦光学系统（34）上的横向偏移（43）来调整激光束（50）在工件（36）上的入射角，其特征在于，用于扩张射束和用于可变地调整激光束（50）的焦距的光学装置（13）布置在镜装置（20）和聚焦光学系统（34）之间。