| 发明名称 | 一种集成保护台面晶闸管及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种集成保护台面晶闸管及其制作方法，它在玻璃钝化层上面形成一定厚度的PI胶钝化层，该PI胶钝化层在高纯氮气保护下，以280～320℃温度，经过100～150分钟加热，使PI胶钝化层亚胺化并和玻璃钝化层融合，形成集成保护层。所述台面晶闸管的玻璃钝化层表面覆盖有PI胶钝化层，玻璃钝化层和PI胶钝化层形成集合保护层。通过本发明的上述技术方案，采用玻璃钝化+PI胶钝化工艺，形成集成保护层。有效改善了钝化层的电荷分布，从而有效的降低了晶闸管的漏电流，提高了晶闸管的可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN105679818A | 申请公布日期 | 2016.06.15 |
| 申请号 | CN201610207115.7 | 申请日期 | 2016.04.05 |
| 申请人 | 江苏东晨电子科技有限公司 | 发明人 | 何春海 |
| 分类号 | H01L29/74(2006.01)I;H01L21/332(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/74(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人 | 徐冬涛;刘畅 |
| 主权项 | 一种集成保护台面晶闸管的制作方法，其特征在于它在玻璃钝化层(4)上面形成一定厚度的PI胶钝化层(1)，该PI胶钝化层(1)在高纯氮气保护下，以280～320℃温度，经过100～150分钟加热，使PI胶钝化层(1)亚胺化并和玻璃钝化层(4)融合，形成集成保护层。 | ||
| 地址 | 214205 江苏省无锡市宜兴新街百合工业园 | ||