消像散光谱仪

摘要

本发明公开一种消像散光谱仪，该消像散光谱仪包括：入射狭缝；准直元件，设置于所述入射狭缝之后，用于将所述入射狭缝出射的光线变为平行光；色散元件，接收所述准直元件出射的平行光，用于将所述平行光在空间上按波长分散成为多条光束；聚焦元件，接收所述色散元件出射的多条光束，用于聚焦色散后的光束；探测装置，放置于所述聚焦元件出射光线的焦平面，用于测量各波长的聚焦光斑的强度；消像散元件，设置于所述探测装置之前，用于校正各波长的像散，在所述焦平面上获得能量集中的聚焦光斑。因此，实施本发明能够校正像散，提高收集效率及灵敏度。

主权项

一种消像散光谱仪，其特征在于，包括：入射狭缝(10)；准直元件(20)，设置于所述入射狭缝(10)之后，用于将所述入射狭缝(10)出射的光线变为平行光；色散元件(30)，接收所述准直元件(20)出射的平行光，用于将所述平行光在空间上按波长分散成为多条光束；聚焦元件(40)，接收所述色散元件(30)出射的多条光束，用于聚焦色散后的光束；探测装置(50)，放置于所述聚焦元件(40)出射光线的焦平面，用于测量各波长的聚焦光斑的强度；消像散元件(60)，设置于所述探测装置(50)之前，用于校正各波长的像散，在所述焦平面上获得能量集中的聚焦光斑。