发明名称 |
一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置 |
摘要 |
本发明涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置,包括真空室、门体、阳极靶、阴极靶、驱动机构和抽真空装置;真空室的上盖与真空室的室底相对,真空室的侧壁连接上盖和室底,以形成一腔室;侧壁上开设有一开口;门体与真空室连接,用于盖设于开口;阳极靶和阴极靶设置在真空室的内部,且,阳极靶与阴极靶相对设置,阴极靶位于室底与阳极靶之间;驱动机构穿过室底与阴极靶相连;抽真空装置与真空室连通。本申请在真空室的侧壁上设置门体,在需要清理沉积物垃圾时,打开侧壁上的门体,将真空吸头从真空室的侧壁伸到内部进行清扫,真空吸头不再需要拐弯,易于清理底部的沉积物垃圾,清理彻底,不会污染下一次沉积过程。 |
申请公布号 |
CN105671517A |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201610200536.7 |
申请日期 |
2016.03.31 |
申请人 |
成都西沃克真空科技有限公司 |
发明人 |
向勇;傅绍英;徐子明;孙力 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 |
代理人 |
詹守琴 |
主权项 |
一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置,其特征在于,包括真空室、门体、阳极靶、阴极靶、驱动机构和抽真空装置;所述真空室的上盖与所述真空室的室底相对,所述真空室的侧壁连接所述上盖和所述室底,以形成一腔室;所述侧壁上开设有一开口;所述门体与所述真空室连接,用于盖设于所述开口;所述阳极靶和所述阴极靶设置在所述真空室的内部,且,所述阳极靶与所述阴极靶相对设置,所述阴极靶位于所述室底与所述阳极靶之间;所述驱动机构穿过所述室底与所述阴极靶相连;所述抽真空装置与所述真空室连通。 |
地址 |
610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港(双流园区)东海路六段680号 |