一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制造方法，其包括：扫描线和数据线、由扫描线和数据线交叉限定的若干像素单元，每个像素单元包括：薄膜晶体管、有源层、以及像素电极，其中，有源层由金属氧化物制成的，像素电极、源极和漏极均是由金属氧化物通过离子注入方式使得金属氧化物具有导电特性。本发明通过将金属氧化物适合作为ITO与a-Si替代品的特性，提出四道光罩制程的阵列基板，可以减化制程降低制造成本，将半导体层与透明电极层整合在一起，利用半色调掩膜版或者灰色调掩膜版将沟道保护层和金属氧化物层用一道掩膜版制作，利用离子注入方式让其他的金属氧化物成为具有导体特性的透明电极，如此可以四道光罩制程即完成阵列基板。

主权项

一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板的制造方法，该金属氧化物薄膜晶体管阵列位于玻璃基板上，其特征在于：包括如下步骤：第一步：在玻璃基板上使用掩膜版形成第一金属层，形成栅极、扫描线以及扫描线端子；第二步：在形成上述第一步图案的基础上，使用掩膜版先制作栅极绝缘层，再在栅极绝缘层上形成数据线；第三步：在形成上述第二步图案的基础上，使用掩膜版制作端子接触孔和数据线接触孔；第四步：在形成上述第三步的基础上，依次沉积金属氧化物层和沟道保护层，最后涂布光刻胶；第五步：在形成上述第四步的基础上，使用半色调掩膜版或者灰色调掩膜版对上述成膜进行曝光，该半色调掩膜版或者灰色调掩膜版在预定的有源层处为不透光区域，在预定的像素区域、预定的源漏极、以及端子接触孔为半透光区域，其他区域为全透光区域，通过半色调掩膜版或者灰色调掩膜版，将全透光区域上方的金属氧化物层、沟道保护层和光刻胶全部刻蚀掉，露出扫描线和数据线，并形成像素区域和源漏极的形状；将半透光区域的光刻胶刻蚀薄了一些；栅极上方的金属氧化物层、沟道保护层和光刻胶没有变化；第六步：在形成上述第五步的基础上，对残留的光刻胶进行灰化处理，直到半透光区域露出沟道保护层时停止；而不透光区域上仍残留有部分光刻胶；第七步：在形成上述第六步的基础上，先蚀掉半透光区域露出部分的沟道保护层，半透光区域上方存在金属氧化物层；再剥离半透光区域留下的光刻胶，不透光区域上方只存在沟道保护层，且剩余的沟道保护层下方的金属氧化物就是有源层；第八步：在形成上述第七步图案的基础上，对金属氧化物层进行离子注入，即：使得像素区域、源漏极、以及端子接触孔内的金属氧化物具有导电特性，形成完整的像素区域、源极、漏极、以及端子接触孔，完成后退火处理。