发明名称 MEMS素子及びMEMS素子の製造方法
摘要
申请公布号 JP5935396(B2) 申请公布日期 2016.06.15
申请号 JP20120046325 申请日期 2012.03.02
申请人 大日本印刷株式会社 发明人 小岩 進雄;坂 壮太郎;佐藤 広章
分类号 G01P15/08;B81B3/00;B81C3/00;G01P15/12 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
主权项
地址