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经营范围
发明名称
MEMS素子及びMEMS素子の製造方法
摘要
申请公布号
JP5935396(B2)
申请公布日期
2016.06.15
申请号
JP20120046325
申请日期
2012.03.02
申请人
大日本印刷株式会社
发明人
小岩 進雄;坂 壮太郎;佐藤 広章
分类号
G01P15/08;B81B3/00;B81C3/00;G01P15/12
主分类号
G01P15/08
代理机构
代理人
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