发明名称 多晶硅锗合金及其制备方法
摘要 本发明涉及具有0.5m至4m的长度且具有25mm至220mm的直径的棒,其中,该棒包括由0.1至50mol%的锗和99.9至50mol%硅构成的高纯度合金,该合金沉积在细硅棒或细硅锗合金棒上,该合金具有多晶结构。
申请公布号 CN101787565B 申请公布日期 2016.06.15
申请号 CN200911000089.7 申请日期 2009.12.11
申请人 瓦克化学股份公司 发明人 L·法布里;M·索芬
分类号 C30B29/52(2006.01)I;C30B28/14(2006.01)I 主分类号 C30B29/52(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 过晓东
主权项 一种具有0.5m至4m长度且具有25mm至220mm直径的棒,其中,该棒包括由0.1至小于20mol%锗和99.9至80mol%硅构成的合金,该合金沉积在细硅棒上或细硅锗合金棒上,该合金具有多晶结构,所述多晶结构是指该棒包含被晶界彼此分开的单晶,这些单晶具有0.1至100微米之间的平均晶粒尺寸。
地址 德国慕尼黑