电磁与电阻混合加热的铸锭炉热场结构及使用方法

摘要

一种电磁与电阻混合加热的铸锭炉热场结构，包括顶部电阻热源、侧部电磁热源、隔热笼和DS块，顶部电阻热源水平布置于隔热笼顶部的下方，石墨支撑板位于顶部电阻热源的下方并竖直布置于坩埚的壁的外面，线圈围绕隔热笼侧壁的外面放置，DS块位于坩埚的下方，热场结构位于铸锭炉的内部。在硅料融化和硅晶体生长阶段中使用本发明结构的方法，可以提供水平的硅料融化界面及微凸的硅晶体生长界面。本热场结构结合了电磁感应加热和电阻加热的优点，侧部电磁热源提供不均匀的侧部热量，顶部电阻热源在水平面上提供均匀的热量，从而形成了均衡热的热量分布，控制了硅料融化界面和/或硅晶体生长界面，对类单晶和/或高效多晶的生产制备具有很好的作用。

主权项

一种电磁与电阻混合加热的铸锭炉热场结构，其特征在于，包括顶部电阻热源、侧部电磁热源、隔热笼和DS块，所述顶部电阻热源包括具有电阻特性的石墨热源，所述具有电阻特性的石墨热源采用规则的平面形状，其外周的尺寸大于位于其正下方的坩埚的水平面上的外周尺寸以使所述顶部电阻热源在水平方向上提供均匀的热量，所述侧部电磁热源包括线圈和石墨支撑板，所述石墨热源水平布置于所述隔热笼顶部的下方，所述石墨支撑板位于所述石墨热源的下方并竖直布置于铸锭炉的坩埚的壁的外面，所述线圈在所述隔热笼的侧壁的外面并围绕所述隔热笼放置，所述DS块位于所述坩埚的下方，所述热场结构位于所述铸锭炉的内部。