一种磁各向异性可调控的大面积柔性磁性薄膜的制作设备

摘要

本发明提供了一种磁各向异性可调控的大面积柔性磁性薄膜的制作设备。该设备包括真空镀膜腔、镀膜装置、薄膜传送装置以及应力调整转子；工作状态时，柔性衬底经薄膜传送装置在真空镀膜腔中传送，传送过程中与应力调整转子接触，受到应力调整转子的应力作用，通过镀膜装置在应力作用下的柔性衬底表面镀磁性薄膜。利用该设备制作柔性磁性薄膜的工艺简单易行、无需外加磁场，大大减少了成本，并且制作效率高，能够大面积制作柔性磁性薄膜，制得的柔性磁性薄膜不仅具有大的磁各向异性，而且其厚度与磁各向异性场大小可调控。

主权项

一种磁各向异性可调控的大面积柔性磁性薄膜的制作设备，其特征是：包括真空镀膜腔、镀膜装置、薄膜传送装置以及应力调整转子；所述的薄膜传送装置包括至少两个相邻的导向辊，即第一导向辊与第二导向辊，所述的应力调整转子置于第一导向辊与第二导向辊之间；工作状态时，柔性衬底经薄膜传送装置在真空镀膜腔中传送，传送过程中与应力调整转子接触，受到应力调整转子的应力作用，通过镀膜装置在应力作用下的柔性衬底表面镀磁性薄膜。