发明名称 | 检查装置 | ||
摘要 | 本发明的目的在于提供一种能够容易地抑制绝缘基板的膨胀、翘曲的检查装置。本申请的发明所涉及的检查装置的特征在于包括:绝缘基板(10);插座(12),由在壁面具有贯通孔(12b)的主体部(12a)和固定于该绝缘基板(10)的连接部(12c)一体地形成;以及接触探针(14),可装卸地固定于该插座(12)。 | ||
申请公布号 | CN103543303B | 申请公布日期 | 2016.06.15 |
申请号 | CN201310232807.3 | 申请日期 | 2013.06.13 |
申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 冈田章;秋山肇;山下钦也 |
分类号 | G01R1/067(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/067(2006.01)I |
代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 何立波;张天舒 |
主权项 | 一种检查装置,其特征在于包括:绝缘基板;插座,由在壁面具有贯通孔的主体部和固定于所述绝缘基板的连接部一体地形成;以及接触探针,可装卸地固定于所述插座,所述接触探针的上表面位置位于所述贯通孔的下方。 | ||
地址 | 日本东京都 |