| 摘要 |
본 발명은 적어도 하나의 기판(102)의 온도를 제어하기 위한 노, 특히 연속로(continuous furnace)에 관한 것이다. 노의 하우징(100)은 주입구(103) 및 배출구(104)를 포함하며, 상기 주입구(103)와 배출구(104) 사이에는 온도-조절형 부분(105)이 형성된다. 상기 적어도 하나의 기판(102)을 운반하기 위한 운반체(120)는 상기 주입구(103)를 통해 상기 온도-조절형 부분(105) 안으로, 그리고 상기 온도-조절형 부분(105)으로부터 상기 배출구(104)를 통해 이송 방향(101)을 따라 이동 가능하다. 온도 제어부(106)는 온도-조절형 부분(105)의 온도를 제어하기 위하여 상기 온도-조절형 부분(105)에 열적으로 결합된다. 상기 온도-조절형 부분(105)은 상기 온도-조절형 부분(105)의 온도를 제어하기 위해 그것을 통해 가스(110)를 주입할 수 있는 가스 흡입구(108)를 포함한다. |
