| 摘要 |
다결정 실리콘의 금속 오염을 감소시키거나 경감시키기 위한 방법 및 시스템이 개시된다. 초순수 과립성 폴리실리콘의 제조 및 제품 취급 절차와 관련된 유동층 반응기 조작에서 사용하기 위한 전달 장치가 개시되는데, 상기 전달 장치는 가요성 합성 수지 튜브를 포함하고, 상기 가요성 합성 수지 튜브는 내층으로 적어도 일부가 코팅된 내부 표면을 갖고, 상기 내층은 엘라스토머성 초미세 폴리우레탄을 포함한다. 상기 폴리실리콘을 통행시키는 상기 도관의 사용은, 이를 사용하지 않으면 이러한 제조 유닛에 전형적으로 존재하는 소스로부터의 외래 금속 접촉 오염을 경감시킨다. |
